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            南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>RTP快速退火爐>> RTP-1000-LCD900°C帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐

            900°C帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐

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            • 900°C帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐
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            • 型號(hào) RTP-1000-LCD
            • 品牌 合肥科晶
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 所在地 南京市
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            更新時(shí)間:2021-05-10 17:44:22瀏覽次數(shù):399

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            RTP-1000-LCD是一款4“RTP(快速熱處理) 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品(尺寸可達(dá)3“)退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用12KW的紅外燈加熱,最快升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制,儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過(guò)計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。

            詳細(xì)介紹

            設(shè)備名稱900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐一RTP-1000-LCD(2019.12.24-科晶實(shí)驗(yàn)室審核)
            主要特點(diǎn)

            快速升溫,最高達(dá)50℃/s。

            配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

            超大管徑φ110mm。

            最高溫度可達(dá)900℃。

            法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

            開(kāi)門斷電。

            基本參數(shù)

            工作溫度∶ 最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(長(zhǎng)期)

            最快升溫速率∶室溫~800℃∶ 50 ℃/s,800℃~900℃∶ 10℃/s

            法蘭∶ KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

            加熱區(qū)長(zhǎng)度∶190mmn

            加熱元件∶ 8根紅外燈管(每根1.5KW)

            最大功率∶12KV(>60A 保險(xiǎn))

            .1 設(shè)備電源∶AC220V/50HZ單相

            循環(huán)水流量∶0.5 m3/h

            標(biāo)配流量計(jì)量程范圍∶ 16-160 ml/min

            多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)線

            輸入電壓∶AC 220V/50Hz單相

            功率∶ 23w

            多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。
            真空法蘭

            不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝,法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,用于插入K型熱電偶。

            熱電偶∶ E型,熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。

            溫控系統(tǒng)

            ·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

            ·溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

            · 儀表控溫精度∶ +/- 1°C

            · 熱電偶型號(hào)∶K型

            開(kāi)門斷電

            為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)

            認(rèn)證

            所有電氣部件均為UL認(rèn)證,并可通過(guò)TUV、CSA認(rèn)證 

            質(zhì)保

            一年保修,終身技術(shù)支持。

            特別提示∶1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

            國(guó)家

            名稱∶ 一種快速高溫退火爐

            編號(hào)∶ ZL-2011-2-0077168.4

            尊重創(chuàng)新∶鄙視抄襲、侵權(quán)必究

             

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