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            行業(yè)產(chǎn)品

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            南京淳寅嘉生物科技有限公司>>合肥科晶>>RTP快速退火爐>> OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐

            1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐

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            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號 OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S
            • 品牌 合肥科晶
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 所在地 南京市
            在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

            更新時(shí)間:2021-05-11 15:50:15瀏覽次數(shù):404

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            產(chǎn)品簡介

            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油
            產(chǎn)品概述∶?OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng)是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì),特別是在新—代能源研究中,應(yīng)用于柔性金屬箔電極方面的研究。本設(shè)備可通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻,同時(shí)根據(jù)用戶的需求提供單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種配置的爐膛。

            詳細(xì)介紹

            產(chǎn)品名稱1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐
            主要特點(diǎn)

            雙石英管∶外管直徑100mn,懸掛的內(nèi)管直徑80mm,金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生cvD反應(yīng)。(見下圖)

            兩根爐管上安裝有真空密封法蘭,允許反應(yīng)氣體在兩個(gè)管(10mm間距)之間流動(dòng),情性氣體在管內(nèi)流動(dòng)以進(jìn)行冷卻。

            · 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。

            爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

            ·包含一個(gè)止滑夾,用于固定爐子的位置。

            ·最高溫度可達(dá)1100℃。

            雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

            · 內(nèi)爐膛表面涂有姜國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。

            開門斷電,提高實(shí)驗(yàn)安全性。

            基本參數(shù)

            最高溫度∶ 1100℃(≤30min) 工作溫度∶ 1000℃

            推薦升溫速率∶≤10℃/min

            加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金

            ·電壓∶220

            可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。(雙溫區(qū)見下圖)

            加熱爐額定功率∶3KW(不包括CVD系統(tǒng))

            加熱區(qū)∶400mm (單溫區(qū)),200mm*2(雙溫區(qū))

            爐管及滑軌

            高純石英管80mm外徑x 1800mm長

            高純石英管100mm外徑x 1400mm長

            鍍鉻鋼制成的雙滑軌

            真空法蘭

            不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝

            多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

            適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進(jìn)入加熱管。

            氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡便。

            采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。

            所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

            多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)∶

            輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相

            功率∶23w

            產(chǎn)品二通道三通道四通道五通道
            工作溫度5-45℃5-45℃5-45℃5-45℃
            最大壓力3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa
            精度±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS
            重復(fù)精度±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS
            流量范圍

            一路:

            1-199 scm

            二路:

            1-199 scm

            一路:

            0-100 scm

            二路:

            1-199 scm

            三路:

            1-499SCCM

            一路:

            0-100 scm

            二路:

            1-199 scm

            三路:

            1-199SCCM

            四路:

            1-499sccm

            一路:

            0-100 scm

            二路:

            1-199 scm

            三路:

            1-199SCCM

            四路:

            1-499sccm

            注意其他流量范圍的可定制(0~100、1~200、1-500、1-1000、1-2000、1-5000sccm),需額外費(fèi)用五一九路可按照客戶要求定制

            真空系統(tǒng)

            此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組

            ·GZK-101低真空機(jī)組∶

            ·工作電電壓∶220v,50~60HZ

            · 功率∶ 1KW

            ·系統(tǒng)極限真空度∶1.0*10-1Pa

            ·抽氣速率∶ 4.4L/ S

             

            *103G高真空機(jī)組:

            產(chǎn)品國產(chǎn)分子泵愛德華分子泵
            抽氣速率

            ·N2   33 L/s

            .He    39 L/s

            .H2   32 L/s

            .N2     42L/s

            .He      49L/s

            .H2        45L/s

            系統(tǒng)極限真空度<1E-4 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-2Pa)<1E-6 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-4Pa)
            分子泵組成RVP-4機(jī)械泵和F-100/110分子泵隔膜泵和斡旋分子泵
            使用電壓和功率電壓∶200~240v輸出功率∶ 150w電壓∶ 185-265v輸出功率∶100v
            移動(dòng)殼體尺寸:600 L)x600(w)x750(H)mm600(L)x600(w))x750(H)mm

             

            溫控系統(tǒng)

             

            采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

            溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù)

            儀表控溫精度∶ +/- 1°C

            熱電偶型號∶ K型

            開門斷電

            為保證使用安全該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

            認(rèn)證

             

            所有電氣部件均為UL認(rèn)證,并可通過TV、CSA認(rèn)證

            CE certified

            質(zhì)保

            一年保修,終身技術(shù)支持。

            特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

             

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