測(cè)量數(shù)據(jù)
在MTC表面紋理的研究中，西班牙的Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀發(fā)揮了關(guān)鍵作用。通過(guò)與汽車(chē)公司的合作實(shí)驗(yàn)，MTC成功開(kāi)發(fā)了一種表面紋理，并將該紋理應(yīng)用于汽車(chē)燃燒發(fā)動(dòng)機(jī)缸套段的曲面上，采用了飛秒激光系統(tǒng)。圖1展示了激光紋理應(yīng)用于缸套段并使用3D輪廓儀測(cè)量得到的紋理特征。
圖1. 汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)缸套段顯示激光產(chǎn)生的紋理和3D輪廓儀測(cè)量得到的紋理特征。
Sensofar的可集成共聚焦顯微鏡和Z軸調(diào)節(jié)功能可以捕捉到完整的二維地形圖層（圖 2）。
圖2. 激光在汽車(chē)氣缸套部分產(chǎn)生的紋理的形貌捕捉和和顯微圖。
利用SensoMAP軟件進(jìn)行紋理分析時(shí)，按照給定的采集序列對(duì)紋理進(jìn)行處理。首先，從地形圖層中提取特征曲線，以確定紋理幾何的關(guān)鍵參數(shù)，如凹槽寬度和深度。通過(guò)使用高度分析工具和距離測(cè)量功能，可以識(shí)別無(wú)紋理表面與紋理幾何形狀之間的過(guò)渡，并對(duì)激光紋理表面的摩擦性能進(jìn)行評(píng)估。距離測(cè)量用于計(jì)算曲線上兩點(diǎn)之間的尺寸，而階梯高度則提供了平均高度差，更準(zhǔn)確地評(píng)估了激光紋理表面的摩擦性能和激光紋理加工過(guò)程中的深度變化。
距離測(cè)量 - 提取的剖面
剖面曲線 - 提取的剖面
結(jié)論
在這項(xiàng)與汽車(chē)公司合作的研究中，S neox光學(xué)輪廓儀對(duì)于了解激光紋理如何提高汽缸套環(huán)節(jié)的功能性能至關(guān)重要。具體而言，共聚焦技術(shù)在S neox的三種技術(shù)中表現(xiàn)出色。通過(guò)結(jié)合分析軟件功能，我們?cè)u(píng)估了激光紋理表面的摩擦性能。
運(yùn)用Sensofar支持軟件，我們可以快速評(píng)估紋理設(shè)計(jì)，并開(kāi)發(fā)我們的激光紋理處理過(guò)程，為客戶提供準(zhǔn)確結(jié)果。
S neox產(chǎn)品概述：
全新設(shè)計(jì)的三維共聚焦白光干涉輪廓儀S neox屬于多功能非接觸式3D光學(xué)輪廓儀，顛*傳統(tǒng)，將共聚焦技術(shù)、白光干涉、相位移干涉和多焦面疊加等4種三維測(cè)量技術(shù)融于一身，具備這四種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。既具備三維共聚焦的高橫向分辨率（0.14μm），又具備白光干涉儀的高縱向分辨率（0.01nm）。
且Sensofar三維共聚焦白光干涉儀不挑材料，對(duì)反光0.05%的材料表面也可獲取高質(zhì)量三維圖像。具體可拍攝不透明和透明材料，可對(duì)金屬、非金屬、復(fù)合材料、玻璃、鍍膜、晶圓、微納器件、陶瓷等各類(lèi)型樣品進(jìn)行2D和3D圖像的獲取、測(cè)量和分析，可進(jìn)行亞納米級(jí)粗糙度測(cè)量。
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