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鼓舞人心的計(jì)量學(xué)：與雷正，萊布尼茨大學(xué)漢諾威研究員的對(duì)話
在今年的漢諾威EMO展覽會(huì)上，我們有幸與雷正會(huì)面，她是來自萊比錫大學(xué)的杰出研究員。在一次簡(jiǎn)短而引人入勝的采訪中，雷正向我們展示了她引人入勝的研究項(xiàng)目，激發(fā)了對(duì)在微納光學(xué)元件生產(chǎn)方面的開創(chuàng)性工作的好奇心。
在采訪中，雷正強(qiáng)調(diào)了顯微鏡在她的研究中的關(guān)鍵作用。她提到了共焦顯微鏡和干涉測(cè)量等技術(shù)在表征她們的樣本（包括鋼結(jié)構(gòu)、光波導(dǎo)和微共振器）中起到了至關(guān)重要的作用。
S neox顯微鏡使我們能夠快速識(shí)別微小特征，而不會(huì)損壞樣品，采用非破壞性方法。
從雷正指出其用戶友好的軟件界面、快速測(cè)量能力和高分辨率圖像生成來看，她對(duì)S neox系統(tǒng)的積極體驗(yàn)顯而易見。作為系統(tǒng)的兩年用戶，她的實(shí)際見解非常有價(jià)值。
我們邀請(qǐng)您觀看視頻，以了解更多她和她的團(tuán)隊(duì)在微納光學(xué)元件生產(chǎn)領(lǐng)域取得的前沿進(jìn)展。
你能提供一下你目前研究項(xiàng)目的概覽嗎？
我正在參與一個(gè)名為集群PhoenixD的項(xiàng)目。在這個(gè)大型項(xiàng)目中，我們有許多小型項(xiàng)目。我的任務(wù)主要集中在光學(xué)元件的微納生產(chǎn)上。在光學(xué)和光子學(xué)領(lǐng)域，我們需要高質(zhì)量、高分辨率的光學(xué)設(shè)備，用于不同的應(yīng)用，例如傳感和生物光子學(xué)。
顯微鏡技術(shù)對(duì)你的研究進(jìn)展有何貢獻(xiàn)？
我會(huì)說它非常有用且非常有幫助。在大多數(shù)情況下，我使用共焦顯微鏡和干涉測(cè)量進(jìn)行樣本表征。例如，我們生產(chǎn)衍射光學(xué)元件（DOE）結(jié)構(gòu)，并可以輕松獲取這個(gè)結(jié)構(gòu)的三維輪廓，這對(duì)我們非常重要。
您能分享由于光學(xué)顯微鏡技術(shù)而克服的任何挑戰(zhàn)嗎？
現(xiàn)在我們有了一臺(tái)顯微鏡，可以快速而輕松地對(duì)樣本進(jìn)行表征。這是一個(gè)非常強(qiáng)大的工具。我們可以對(duì)樣本進(jìn)行表征并生成高質(zhì)量和高分辨率的圖像。
您在S neox上最喜歡的功能是什么？
這個(gè)系統(tǒng)有很多優(yōu)點(diǎn)，我想說的是： 第一個(gè)是軟件界面，非常用戶友好，整個(gè)測(cè)量過程都很容易。 接下來是測(cè)量過程。它可以在幾秒鐘內(nèi)完成。這很快。最后一點(diǎn)是高分辨率的測(cè)量。例如，一個(gè)帶有總線波導(dǎo)的微共振器，這是我們?yōu)轫?xiàng)目合作伙伴制作的樣品。如果我們想要實(shí)現(xiàn)一些光學(xué)性能，波導(dǎo)和共振器之間需要一個(gè)小的間隙。我們可以制作具有幾百納米間隙尺寸的樣品。使用其他顯微鏡，不可能區(qū)分這個(gè)間隙。但是通過我們的系統(tǒng)，我們能夠看到這個(gè)間隙。 這一點(diǎn)的優(yōu)勢(shì)在于這是一種非破壞性的方法，因此我們不需要破壞樣品。
您最喜歡的技術(shù)是什么，干涉測(cè)量、共焦顯微鏡還是焦點(diǎn)變化？
我喜歡它們，因?yàn)樗鼈儗?duì)我們的項(xiàng)目都非常有用，我們經(jīng)常使用所有這些模塊。
您能為其他有興趣在研究中應(yīng)用顯微鏡技術(shù)的研究人員提供一些建議嗎？
首先，我會(huì)說整個(gè)設(shè)備應(yīng)該用戶友好且易于操作。 其次，設(shè)備應(yīng)支持快速測(cè)量，因?yàn)檫@可以幫助節(jié)省大量時(shí)間。 最后，設(shè)備或顯微鏡應(yīng)能夠生成高質(zhì)量和高分辨率的測(cè)量，特別是在微納米級(jí)別的生產(chǎn)中。
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