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Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的檢測和分析功能在位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測量，并結(jié)合在一起，完成全表面的3D立體測量。S neox 3D測量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度（干涉測量技術(shù)）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術(shù)）的臨界尺寸。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀特點(diǎn)：

1、涵蓋了廣泛的三維測量尺度

S neox 3D測量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度（干涉測量技術(shù)）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術(shù)）的臨界尺寸。

2、應(yīng)用范圍廣泛

S neox Five Axis可以在位置進(jìn)行全自動(dòng)3D表面測量，并將所有測量結(jié)果組合在一起，完成全表面的3D立體測量。

3、完整的3D測量

S neox Five Axis能夠旋轉(zhuǎn)樣品,在圓周上相同高度的位置測量一系列3D形貌。SensoFIVE 軟件合并相同高度的一系列單個(gè)3D形貌信息，得到高精度的環(huán)形樣品表面的精確3D表面。然后合并不同的高度，系統(tǒng)可以在尖銳邊緣和關(guān)鍵表面上提供完整的形狀信息。

4、連接相鄰表面：測量大于90o的角度

測量包含陡角的復(fù)雜曲面非常困難，因?yàn)殛幱靶?yīng)會(huì)阻止您在單次采集中獲得完整的測量結(jié)果。有必要傾斜樣品以便從兩個(gè)不同的位置測量樣品并將兩個(gè)形貌結(jié)果組合以獲得完整的測量結(jié)果。Five Axis旋轉(zhuǎn)臺(tái)允許樣品沿相反方向定位以使整個(gè)表面可見。系統(tǒng)將獲取單獨(dú)的測量值，然后，將自動(dòng)合并它們以獲得完整的3D立體測量。

5、多自由度測量無限制

通過自動(dòng)化程序，只需單擊一下即可測量樣品的不同部分。友好的用戶界面允許您在沒有任何約束的情況下找到測量位置。然后關(guān)注樣品的關(guān)鍵部分并將其添加到自動(dòng)化例程中。最后
點(diǎn)擊"獲取"，只需單擊一下即可獲得所有測量部件。這是一種自動(dòng)化測量程序的快速簡便方法。

6、表面光潔度測量：準(zhǔn)確可靠

我們的共聚焦和干涉測量技術(shù)允許您測量具有任何級(jí)別的粗糙表面，從極粗糙（典型的鋼材表面）到大約1A的高反射表面 (金剛石或鏡面)。根據(jù)NPL、NIST和PTB粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，將我們的系統(tǒng)轉(zhuǎn)換為重復(fù)且可追溯的系統(tǒng)。多焦面疊加技術(shù)使系統(tǒng)對測量大坡度提供了快速、簡便地響應(yīng)。

7、高精度5軸旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

Five Axis旋轉(zhuǎn)平臺(tái)有高精度電動(dòng)旋轉(zhuǎn)A軸和360o無限旋轉(zhuǎn)、1弧秒定位重復(fù)性、和電動(dòng)B軸、-30o至110o、0.5弧分定位精度、帶限位開關(guān)組成。還配備了System3R夾緊系統(tǒng)。

8、豐富的支架和夾頭

各種支架和夾頭。根據(jù)樣品，可提供不同類型的支架。對于旋轉(zhuǎn)樣品，夾頭支架（可根據(jù)要求提供多種選擇）帶有十五個(gè)夾頭，而其他夾頭則為扁平夾具。它還包括平面鏡和校準(zhǔn)樣品的校準(zhǔn)包。

9、均勻的環(huán)形燈增強(qiáng)照明

為獲取均勻的照明，配置環(huán)形燈照明輔助。環(huán)形燈采用LED照明，以均勻有效的方式照射樣品。它安裝在物鏡的上方和周圍，環(huán)形燈為共焦和多焦面疊加技術(shù)提供增強(qiáng)的信號(hào)。這確保了焦平面處的適當(dāng)照明。

1、明場

其他可選物鏡: 水浸物鏡、超長工作距離物鏡、加長工作距離物鏡、焦深調(diào)節(jié)環(huán)物鏡 1大視場系 2/3" 攝像頭及光學(xué) 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:線條和空間，根據(jù)瑞利準(zhǔn)則計(jì)算半衍射極限。藍(lán)光波長。 4根據(jù)比較連續(xù)兩次在垂直于光軸的校準(zhǔn)鏡片得到的差異計(jì)算系統(tǒng)噪音值。 5在光滑的表面上，在粗糙表面上可達(dá)86o。

2、干涉

其他可選物鏡: 可變反射率，Michelson、Mirau 及Linnik 1大視場系 2/3" 攝像頭及光學(xué) 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:線條和空間，根據(jù)瑞利準(zhǔn)則計(jì)算半衍射極限。藍(lán)光波長。 4 對于干涉物鏡，10μm掃描范圍。   5根據(jù)比較連續(xù)兩次在垂直于光軸的校準(zhǔn)鏡片得到的差異計(jì)算系統(tǒng)噪音值。對于 PSI，防震開啟，10 個(gè)相位平均值。控溫房間，壓電平臺(tái)掃描儀實(shí)現(xiàn)0.01nm。 6在光滑的表面上，在粗糙表面上可達(dá)86o。