9J光切法顯微鏡依據(jù)所測光潔度▽3-▽9/0.8-80um為光切法顯微鏡，▽10-▽14/1-0.03um為干涉顯微鏡。用于測量零件表面刻線，鍍層深度等，配以特殊的附件還能測量顆粒加工紋路面，低反射率的工件表面，可將儀器倒置在工件上

9J光切法顯微鏡主要技術(shù)規(guī)格：

1、測量表面光潔度范圍：▽3-▽9(相當不平度0.8-80um)

2、表面光潔度（級別）：9、8-7、6-5、4-3

3、所需物鏡：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12

4、總放大倍數(shù)：510X、260X、120X、60X

5、物鏡組件工作距離(mm):0.04、0.2、2.5、9.5

6、視場（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5

7、不平寬度：用測微目鏡：0.7微米~2.5毫米，用座標工作臺：（0.01~13）毫米

8、儀器重量約： 23公斤