目錄:沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>清洗設(shè)備>>紫外臭氧清洗>> PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
1、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
2、溫度范圍：5-40℃;
3、最大相對濕度80％，最高30.5℃，40℃線性降至50％相對濕度;
4、主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10％;
5、污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。
6、去除分子級別的污染物
7、紫外光固化粘合劑
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蝕
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
產(chǎn)品名稱 | PCE-22紫外臭氧清洗機(jī) | |
產(chǎn)品型號 | PCE-22 | |
主要參數(shù) | 1、功率：最大350W | |
腔體&樣品臺 |
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排氣口 |
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紫外燈 |
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產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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