OTL1200三溫區(qū)可調(diào)真空CVD系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。  CVD系統(tǒng)是由4路供氣系統(tǒng)+OTL1200-1200-1200三溫區(qū)管式爐+可調(diào)真空系統(tǒng)組成。  

OTL1200三溫區(qū)可調(diào)真空CVD系統(tǒng)以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品.。  

軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。（選配）  

(1)、表面溫度高可達1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。  

(3)、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好  

當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。  

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出  

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。  

2、采用日本技術(shù)成型。  

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場  

4、采用4周加熱，溫場更加均衡