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初步認識什么是手動探針臺

閱讀：1875 發(fā)布時間：2022-8-23

　　手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備（不屬于本機器）對此測試、分析。

　　首先我們先來了解什么是探針臺？

　　它是一種輔助執(zhí)行機構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導(dǎo)通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

　　主要功能：

　　搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表，量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。

　　探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上，從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。

　　應(yīng)用范圍：

　　手動探針臺廣泛用于I-V／C-V測試，脈沖I-V測試，RF/mmW測試，高壓、大電流測試，MEMS、光電器件測試，晶圓級失效分析、霍爾測試等等應(yīng)用方向的測試測量。圖形化界面操作系統(tǒng)可方便設(shè)置多種外接電源、多個IV同時測試，數(shù)據(jù)圖表疊加顯示等多種功能，實現(xiàn)I-V/C-V等測試。

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