一、探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動
二、從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(超低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺
三、經(jīng)濟手動型：
(1)根據(jù)客戶需求定制
(2)chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(3)X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(4)chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離
(5)顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
(6)顯微鏡移動方式：立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)
(7)探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關
(8)可搭配Probecard測試
(9)適用領域：晶圓廠、研究所、高校等
四、LCD半自動探針臺：
(1)機械手臂取放片
(2)電動、鍵入坐標尋位置
(3)量測尺寸(mm)：1800x1600、1300x1200、1200x1000
五、LCD手動探針臺：
(1)白熾燈或者LED整面背光
(2)TFT元件特性、DriverIC量測分析
(3)機臺尺寸(mm)：800x600、500x400、300x300
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