目錄:北京海科思銳光電儀器有限公司>>光機械>>光學平臺與隔震系統(tǒng)（Standa）>> 直接驅(qū)動電動位移臺
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
直接驅(qū)動電動位移臺簡述：
8MTL系列電動平移臺采用三相無鐵無刷伺服電機技術(shù)，可通過高精度，可重復性和低摩擦力實現(xiàn)零間隙運動。線性非接觸式光學編碼器可確保以亞納米級的運動分辨率直接控制位置。氧化鋁合金保證了高溫穩(wěn)定性，8MTL儀器的柔軟性和優(yōu)異的長周期運動學，無導向系統(tǒng)漂移。該平臺占地面積小，可將其集成到高密度機器和狹小空間應(yīng)用中，且可用于超凈室和真空（高達10-3 Torr）應(yīng)用。
8MTL1301-170
| 型號 | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
| 行程 | 170 mm | |||
| 編碼器類型 | Optical Encoder | |||
| 編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 編碼器光柵周期 | 20 µm | |||
| 絕dui精度: | ||||
| 校準前 | ±5 µm | |||
| 校準后 | ±1 µm | |||
| 雙向重復精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 雙向重復精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
| 最da速率(載重4kg) | <2000 mm/s | |||
| 載重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 4.1kg | |||
8MTL1401-300
| 型號 | 8MTL1401-300-LEn1-025 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
| 行程 | 300 mm | |||
| 編碼器類型 | Optical Encoder | |||
| 編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
| 編碼器光柵周期 | 20 µm | |||
| 絕dui精度: | ||||
| 校準前 | ±5 µm | |||
| 校準后 | ±1 µm | |||
| 雙向重復精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
| 雙向重復精度(RMS) | ±0.08 µm | |||
| 最da速率(載重4kg) | <2000 mm/s | |||
| 載重(置于中心) | 30kg | |||
| 重量 | 6.75kg | |||
直接驅(qū)動電動位移臺8MTL120XY
| 型號 | 8MTL120XY-LEn1-025 | 8MTL120XY-LEn1-050 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
| 行程 | 120 x 120 mm | ||||
| 編碼器類型 | Optical Encoder | ||||
| 編碼器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
| 編碼器光柵周期 | 20 µm | ||||
| 絕dui精度 | 校準前 | ±4 µm | |||
| 校準后 | ±0.5 µm | ||||
| 雙向重復精度(峰峰值) | ±0.15 µm | ||||
| 雙向重復精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
| 最da速率(載重4kg) | <1000 mm/s | ||||
| 載重(置于中心) | 30kg | ||||
| 尺寸 | 240 x 360 x 75 mm | ||||
8MRL120-15
| 型號 | 8MRL120-15-MEn | |
| 角度范圍 | 360 deg | |
| 編碼器類型 | Optical Encoder | |
| 編碼器分辨率 | 0.0000625 deg | |
| 編碼器光柵周期 | 0.05 deg | |
| 絕dui精度 | 校準前 | ±218 µrad/ ±45.00 arcsec |
| 校準后 | request | |
| 雙向重復精度(峰峰值) | ±7.30 µrad/ ±1.50 arcsec | |
| 雙向重復精度(RMS) | ±2.90 µrad/ ±0.60 arcsec | |
| 偏心率 | ±5.00 µm | |
| 抖動 | ±19.40 µrad/ ±4.0 arcsec | |
| 最da速率(無負載) | <9000 deg/s / 1500 RPM | |
| 負載 | 水平 | 40 kg |
| 垂直 | 20 kg | |
| 轉(zhuǎn)盤直徑 | 90mm | |
| 中心孔徑 | 15mm | |
| 重量 | 2.6kg | |
8MRL180, 8MRL250
| 型號 | 8MRL180 | 8MRL250 |
| 角度范圍 | 360 deg | 360 deg |
| 編碼器類型 | 1Vpp Analoge inductance | |
| 編碼器分辨率 | 2 arcsec | 1 arcsec |
| 雙向重復精度 | 5 arcsec | 4 arcsec |
| jue對精度(校準前) | 50 arcsec | 40 arcsec |
| 軸向跳動 | 30 µm | 30 µm |
| 徑向跳動 | 30 µm | 20 µm |
| 最da速度 | 6600 deg/s | 3300 deg/s |
| 水平負載 | 12 kg | 20 kg |
| 垂直負載 | 12 kg | 15 kg |
| 轉(zhuǎn)盤直徑 | 180 mm | 250 mm |
| 重量 | 5 kg | 9 kg |
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