AE 射頻電源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射頻發(fā)生器功率密度高，能夠?qū)崿F(xiàn)緊湊型安裝。在空間有限但性能至關(guān)重要的情況下，簡化版APEX Series 射頻發(fā)生器能為客戶提供值得信賴的各種安裝選項和功率。

AE APEX Series 射頻發(fā)生器可以適配腔室、機(jī)架或框架等安裝選項，在提供方便的同時還可以降低功率損耗。全系列RF Generator 有優(yōu)秀的電弧管理能力，在13.56Mhz頻率下，可選擇1.5KW~10KW不同輸出功率的設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX

AE 射頻電源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射頻發(fā)生器

優(yōu)點：

1. 靈活性提高，可直接集成工藝機(jī)臺

2. 等離子操作穩(wěn)定化

3. 提高快速電弧管理的良品率

4. 易于根據(jù)客戶的工藝要求進(jìn)行定制和配置

特點：

1. 流線型設(shè)計，實現(xiàn)大功率密度

2. 可選腔室安裝、工具框架安裝、機(jī)架安裝和鞋盒式安裝

3. 寬帶控制回路

4. 可選脈沖控制

5. 高速電弧管理