AE Mercury 10013 水星 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 RF Auto Matcher Mercury系列射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器, 主要用于傳輸線上，以此來達(dá)到幾乎全部高頻微波信號(hào)均能傳遞至負(fù)載點(diǎn)的目的，減少信號(hào)反射回來源點(diǎn)，提升能源效益。在射頻濺射系統(tǒng)中，靶材于殼體近似一個(gè)電容器，對(duì)電源來說是電容性負(fù)載，通過調(diào)節(jié)射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器中的可調(diào)節(jié)電容，可以使得這個(gè)容性負(fù)載的阻抗達(dá)到適宜狀態(tài)，進(jìn)而使射頻電源的輸出功率得到高效的利用。

AE Mercury Series 設(shè)備特點(diǎn)：

1. 使等離子體能夠高效的吸收射頻電源提供的能量

2. 可以提高靶的濺射速率

3. 能夠加快成膜的速度

AE Mercury 10013 水星 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 技術(shù)參數(shù)：

LF Input ：＜500KHz / 600V MAX                                                                        

AC Input : 115 VAC , 50/60Hz , 0.5A  /  ~250V T 0.6A

Net Dimensions and Weight : 400*240*400mm / 11.8Kg

頻率 ：13.56MHz

輸出功率 ：10KW