MKS 微波電源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器，Smart Match模塊可用于高達(dá) 6kW 的功率水平，具有用戶可選擇的操作模式和反射功率閾值，已通過資格提供快速、可靠的調(diào)諧多種等離子負(fù)載，包括 O2、N2、CF4、NF3、H2O、NH3、N2H2 及其他，典型的匹配速度低于 1 秒。

優(yōu)點

1.MKS 微波電源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器能夠快速、可靠的匹配，即使是難度較高的等離子負(fù)載

2.無需單獨控制器的手動操作，可提高準(zhǔn)確性并降低擁有成本

3.*的預(yù)測算法，配備強大的微控制器和快速存根移動機制

規(guī)格

類型：SmartMatch微波匹配裝置

匹配時間：＜2秒

匹配系統(tǒng)：Three stubs on 1-4 length waveguide intervals.

波導(dǎo)尺寸：WR284

工作頻率：2.45 GHz ±15 MHz

可能的匹配范圍：匹配極限駐波比（VSWR）為10

匹配頭重量：6.4公斤（14磅）

安裝位置：任何位置

用戶界面：RS485，Analog

環(huán)境溫度：≤50℃

匹配頭冷卻要求：水流在0.25gpm情況下，水溫≤30°C，30psid壓差

匹配頭功率要求：24 VDC ±10%

測量模塊尺寸：3.43*4.87*8.0 inches（87*124*203 mm)

匹配頭尺寸：10.25*6.18*11 inches（260*156*279mm）

測量模塊重量：0.9公斤（2磅）