MKS(ENI) 射頻電源 ENI GHW-50 高性能射頻電源 13.56MHz 5KW是具有高可靠性的射頻等離子發(fā)生器GHW 系列射頻發(fā)電機(jī)在 13.56 MHz 的頻率下提供不同額定輸出功率的設(shè)備選擇。該系列設(shè)備非常適用于集成電路、平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造過程中的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD)、高密度等離子 CVD (HDPCVD)、蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。

ENI GHW-50 高性能射頻電源 13.56MHz 5KW規(guī)格

類型：GHW 系列 13.56 MHz 射頻等離子發(fā)生器

頻率：13.56MHz ±0.005%

輸出功率：5000 W

負(fù)載阻抗范圍：無限

射頻穩(wěn)定性/雜散輸出：無條件穩(wěn)定運(yùn)行限制內(nèi)的任何負(fù)載 < -45dBc

諧波輸出和失真：< -40dBc

負(fù)載失配保護(hù)：在反向功率達(dá)到預(yù)編程水平=額定功率的20%后，自動(dòng)正向功率限制通常為0.25ms

監(jiān)管容忍度：＞500W：±1.5%SP；＜500W：±10.0W

輸入交流電源：200/208VAC，3/PE~(3W+G)30A/相，380/400VAC，3/PE~(3W+G)15A/相

射頻連接器：N型

界面：標(biāo)準(zhǔn)：RS-232 Subminiature Type-D 9 針數(shù)字；可選的自定義接口卡可用

讀出：數(shù)字讀數(shù)顯示頻率和正向、反射和負(fù)載功率

機(jī)架安裝：提供 EIA（標(biāo)準(zhǔn)）19 英寸適配器

冷卻系統(tǒng)：水流為7.6L/min，水溫5℃~35℃。提供接受3/8英寸外(NPT)管道螺紋連接

尺寸：8.72× 19x 22.1英寸（221 × 483 × 560毫米），不包括手柄和連接器

重量：41.3 公斤（91磅）