COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W RF GENERATOR 射頻發(fā)生器是一款穩(wěn)定、可靠的低頻射頻電源。CLF Series 是為滿足半導體加工用 RF驅動等離子體系統(tǒng)的性能要求而設計的。應用范圍包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業(yè)系統(tǒng)中的感應和介質加熱過程。

CLF Series 射頻電源運作過程中可提供高達5KW的穩(wěn)定的輸出功率。半機架支撐工作時在 20KHz~50KHz 的任何固定頻率。全機架支撐工作時，可以在 20KHz~450KHz 的任何固定頻率，或自動調(diào)諧到±15帶寬。在許多應用中，自動調(diào)節(jié)和多余功率凈空的結合將使電力輸送到不斷變化的無功負載，而不需要機械調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡。

COMDEL 低頻射頻電源 CLF Series 特點

1.CLF Series 為低頻射頻電源

2.設備穩(wěn)定、可靠、低功率

3.用于工業(yè)加熱和等離子體

COMDEL 低頻射頻電源 CLF5000 450KHz 5000W 規(guī)格

AC輸入：3，PE，208 VAC，50/60Hz，25A

射頻輸出：400 KHz，700 Vpk，50 Ohm

水冷進水需求：Min 水流 11L/min，Max 水壓414 kPa（60 psi），Max 水溫25℃