MKS 直流電源 DCG-100A OPTIMA 10KW DC Power Supply 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證，久經(jīng)機臺測驗的具有高可靠性和優(yōu)良性能的直流電源。MKS DCG系列直流電源設(shè)備具有一個前置主斷路器，電源和故障狀態(tài)LED。該系列電源設(shè)備采用了雙路輸出設(shè)計，總輸出功率為10KW，在雙路輸出模式下，單條輸出電路功率為5KW。MKS DCG 系列直流電源具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對輸出功率的精準(zhǔn)控制，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛可靠的應(yīng)用。

MKS DCG Series 設(shè)備特點

1.Front Access Main Circuit Breaker

2.Power and Fault Status LEDs

3.Eight Pin Rear Connector

MKS 直流電源 DCG-100A OPTIMA 10KW 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號：DCG-100A OPTIMA

AC 電源輸入：3 phase~，200 ~ 208V（+10% ~ 7.5%），45A，50/60Hz

輸出功率：10KW

DUAL雙路輸出：5KW

通訊接口：RS-232C/422，Remote F.P. ，User Port，M/S COMM

散熱方式：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：27kg（59lbs）