AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W RF Generator 是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源，Paramount MF系列射頻功率發(fā)生器集頻率調(diào)諧、脈沖和全數(shù)字控制于一身。設(shè)備采用的全數(shù)字控制可動(dòng)態(tài)響應(yīng)等離子體變化，頻率和功率可定制范圍分別從400kHz ~ 60MHz和1.5KW ~ 10KW，能夠?qū)崿F(xiàn)控制的優(yōu)化和同步。

Paramount 平臺(tái)采用數(shù)字架構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)精密的電源管理和優(yōu)化新功能的集成，無需研制周期或硬件更改。該平臺(tái)通過實(shí)時(shí)檢測等離子體的變化，實(shí)現(xiàn)大功率輸出和可重復(fù)性能。內(nèi)部保護(hù)限值還可確保操作穩(wěn)定可靠。關(guān)注操作靈活性，推動(dòng)您的工藝開發(fā)。Paramount® 射頻發(fā)生器可提供寬頻率和功率范圍，支持多種集成場景，并配備標(biāo)準(zhǔn)串行或模擬接口。

優(yōu)點(diǎn)：

提高等離子體穩(wěn)定性和工藝可重復(fù)性

精密控制射頻功率

快速響應(yīng)等離子體變化

易于調(diào)整滿足特定應(yīng)用需求

特點(diǎn)：

全數(shù)字控制

頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步

實(shí)時(shí)功率和阻抗測量

電弧管理

相位同步（CEX）

AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 技術(shù)參數(shù)：

AC輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，23A（Max.），50 ~ 60Hz

RF輸出：5000W，1.8 ~ 2.17MHz，775Vrms

散熱：水冷+風(fēng)冷

工作環(huán)境溫度：+5℃ ~ +40℃

通信接口：RS-232、用戶端口、以太網(wǎng)、DeviceNet、Profibus、EtherCAT