KYOSAN 射頻電源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中較快的成膜速度，能夠在一定程度上提高產(chǎn)線效率，降低能源損耗，提高效益。

KYOSAN 射頻電源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備型號(hào)：RFK150ZD-TE7-DC

AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，65A，25kA

RF輸出：13.56MHz，15KW

諧波失真：≤ -45dB                                                                                       

輸出：MOS-FET                                         

輸出接口：HN type

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水流速：8L/min

設(shè)備重量：44kg