DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 RMN-50P RF Matching Box 是一款經(jīng)過機(jī)臺長期驗(yàn)證的性能穩(wěn)定，具有高可靠性的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器。DAIHEN RMN系列射頻匹配器響應(yīng)速度快，匹配精度高，能夠有效地將射頻傳輸至負(fù)載點(diǎn)，反射低損耗小，能源效益高，能夠?qū)Φ入x子工藝進(jìn)行高性能，高可靠性和精確控制。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 RMN-50P 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：RMN-50P

AC 電源輸入：100V~200V，1 phase~，1.5A，50/60Hz

輸入功率：5000W（Max）

RF射頻頻率：13.56MHz                             

整合精度：1% or less （Power Ratio）^*1

整合速度：3秒以內(nèi)

通信接口：Monitor，Display，RS-232C，HV（24V），Relay

散熱：水冷+風(fēng)冷

設(shè)備尺寸：410 * 388 * 174 mm

設(shè)備重量：15kg

DAIHEN RMN-50P RF Matching Box 特點(diǎn)

1.優(yōu)化定制設(shè)計適應(yīng)用戶負(fù)載阻抗和機(jī)械接口

2.優(yōu)秀的“預(yù)測與校正"算法實(shí)現(xiàn)高速、準(zhǔn)確的自動調(diào)優(yōu)

3.可編程用戶參數(shù)集（最多8組）