MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中，整體采用了緊湊設(shè)計(jì)，小巧緊湊，能夠有效的降低客戶的使用成本。MKS EDGE Series 射頻電源是專為薄膜加工設(shè)備設(shè)計(jì)的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制程的重要部件，具有優(yōu)秀的成膜能力，能夠快速成膜，提高產(chǎn)線效率。MKS EDGE系列生產(chǎn)過程中對(duì)制造工藝進(jìn)行了嚴(yán)格控制，保證了該系列電源實(shí)際使用過程中的優(yōu)良性能和精密控制。

MKS 射頻電源 EDGE4001A 3000W 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

型號(hào)：EDGE4001A

AC Input：3 phase~，200~208V，25A，50/60Hz

RF Output：3000W CW（3.8KW PEAK），0.9~1.1MHz

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN水流流速 1Gal/min，MAX進(jìn)水水壓 80PSI

設(shè)備重量：19kg，42lbs