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KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 返回列表頁

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產(chǎn)品型號KYOSAN JFK125TP-TC2

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地揚(yáng)州市

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更新時間：2024-06-02 16:03:40瀏覽次數(shù)：549次

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KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2

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產(chǎn)品分類品牌分類

射頻電源（RF）: KYOSAN JFK Series MKS GEW Series ADTEC TX Series COMET cito Series AE LFGS Series ULVAC RFS Series MKS Spectrum Series MKS EDGE Series KYOSAN RFK Series ENI GHW Series ENI ACG Series AE RFG Series AE PDX Series AE Paramount Series AE HFV Series AE APEX Series ADTEC TS Series DAIHEN RGA Series COMDEL AE Cesar Series ADTEC AX Series

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產(chǎn)品簡介

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號	2L39-000121-23
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR
品牌	KYOSAN	型號	JFK125TP-TC2
P/N	2L39-000121-23	頻率	3.2MHz
輸出功率	12.5KW	設(shè)備狀態(tài)	Refurbished

KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator是輸出穩(wěn)定、性能可考的高性能射頻電源，主要運(yùn)用于蝕刻、CVD、PVD等半導(dǎo)體制程中。

詳情介紹

KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。KYOSAN JFK系列射頻電源可以實現(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，可以在一定程度上提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。

KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：KYOSAN

設(shè)備型號：JFK125TP-TC2

AC 電源輸入：200~208V，3 phase~+G，60A，50/60Hz

RF 射頻輸出：3.2MHz，12.5KW（cw），20KW（PEAK）

通訊接口：Analog I/F，Debug，Device Net

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水冷流量 8L/min

設(shè)備重量：45kg