DAIHEN 射頻網(wǎng)絡匹配器 AMN-50L-V 60MHz 5000W RF Match 是經(jīng)過長期驗證的設計優(yōu)秀、性能可靠的射頻阻抗網(wǎng)絡匹配器。匹配效率高，速度快，能夠高效地降低反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。能夠?qū)Φ入x子工藝進行高性能，高可靠性和精確控制。該系列射頻電源匹配器專為半導體和關鍵的薄膜應用設計，廣泛應用在半導體晶圓制程中，F(xiàn)PD行業(yè)的LCD，OLED，封裝產(chǎn)業(yè)，以及微機電產(chǎn)業(yè)中3D集成TSV工藝中，提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡匹配器 AMN-50L-V 60MHz 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：DAIHEN                                                                                                                                  

設備型號：AMN-50L-V

AC電源輸入：1 phase~ ，100~200V，~1.5A，50/60Hz

RF輸入頻率：60MHz

輸出功率：5000W

通訊接口：Display，P/C，Debug，Matcher，Monitor

設備散熱：風冷散熱

設備重量：24kg