ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW RF Auto Matcher 是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的性能穩(wěn)定可靠的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體薄膜工藝中。ENI MWH系列 射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器具有用響應(yīng)速度快，匹配精度高的特點(diǎn)，能夠?qū)ι漕l實(shí)施精準(zhǔn)控制。當(dāng)偵測(cè)到反射功率時(shí)，匹配器能夠迅速調(diào)節(jié)內(nèi)部阻抗降低反射，完成匹配，可以減少功率損失，降低能耗，提高能源效益，降低客戶的使用成本。

ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW 參數(shù)規(guī)格                                        

設(shè)備品牌：ENI

設(shè)備型號(hào)：MWH-100

AC 電源輸入：1 phase~/N/PE，100~240VAC，100VA，50/60Hz

RF 射頻輸入：Max功率 10KW，13.56MHz

通訊接口：Digital Interface，Control Interface，User Interface

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN進(jìn)水流速 0.27gal/min（1L/min），水冷進(jìn)水溫度 5℃~35攝氏度，MAX進(jìn)水水壓 35PSI/241Kpa

設(shè)備重量：14kg，30lbs