MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的射頻發(fā)生器，在實(shí)際運(yùn)用中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力。MKS Spectrum系列射頻電源廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程中的薄膜工藝中，該系列射頻電源的優(yōu)良成膜能力使其在CVD、PECVD、濺射等制程工藝中成膜速度快，能夠提升產(chǎn)線效率，此外其精準(zhǔn)的射頻控制能力對(duì)產(chǎn)線產(chǎn)品良率提升也有一定的幫助。

MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：Spectrum B-5002

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz

RF 射頻輸出：1.8~2.17MHz，5KW

通訊接口：RS-232C Interface，POD Interface，External Interlock

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱

水冷進(jìn)水水溫：MAX 35℃

水冷進(jìn)水流量：MIN  2 GAL/min（7.6 L/min）

水冷進(jìn)水水壓：MAX 60PSI（414kPa）

設(shè)備重量：25.9kg（57lbs）