目錄:賽非特科學(xué)儀器（蘇州）有限公司>>多束系統(tǒng)>> JIB-4700F雙束加工觀察系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,綜合 |
JIB-4700F雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F能進(jìn)行高分辨觀察、高速分析、高速加工的FIB/SEM裝置。
隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器系統(tǒng)，在1kV低加速電壓下,實現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與最大能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。FIB鏡筒利用最大探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束，對樣品進(jìn)行高速加工。利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統(tǒng))等各種分析裝置，可以進(jìn)行高速分析。此外還標(biāo)配了三維分析功能，能以固定的間隔自動進(jìn)行截面加工并同時獲取截面的SEM圖像。
高分辨率SEM觀察通過采用電磁場疊加的圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器，在1kV低加速電壓下實現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率。
高速分析浸沒式肖特基電子槍與最佳光闌角控制鏡組合，大探針電流分析時也能保持高分辨率。
高速加工FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,對樣品進(jìn)行高速加工。
加強(qiáng)了檢測系統(tǒng)利用新開發(fā)的同步檢測系統(tǒng)（包括in-lens檢測器），最多能實時觀察4個檢測器的圖像。
擴(kuò)展性可支持EDS、EBSD、冷凍傳輸系統(tǒng)、冷凍樣品臺、空氣隔離傳輸系統(tǒng)（Air-isolation transfer vessel）等豐富的選配附件。
三維觀察、三維分析高分辨率SEM和各種分析單元（選配項）組合，能對圖像和分析數(shù)據(jù)進(jìn)行三維觀察。
樣品臺聯(lián)動功能利用樣品提取系統(tǒng)（Sample Pick-up System，選配項）和樣品臺聯(lián)動功能，能簡單地提取TEM樣品。
圖像疊加（picture overlay）系統(tǒng)通過和附帶光學(xué)顯微鏡的樣品提取系統(tǒng)組合，將光鏡圖像疊加在FIB圖像上，能容易地定出FIB的加工位置。
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