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| 整體位移精度 | 10um | 背電極 | 可以引出背電極 |
|---|---|---|---|
| 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 | 漏電精度 | 10pA |
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 7-200倍 | CCD相機 | 2000W |
| 顯示器 | HDMI高清顯示器22寸 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品介紹
TLRB系列標準型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而開發(fā)設(shè)計的一款高性價比探針臺系統(tǒng)，其功能齊全，滿足常規(guī)IV電學測試需要，廣泛應(yīng)用于芯片、半導(dǎo)體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。
產(chǎn)品優(yōu)勢
. 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，高性價比;
. 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試;
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)及微調(diào)升降;
. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
. 精密絲桿/燕尾傳動機構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計;
. 模塊化設(shè)計，可據(jù)應(yīng)用需要增減相應(yīng)模塊，性價比高。
模塊介紹
通用參數(shù)
產(chǎn)品示意圖
選型表
相關(guān)附件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套標準型基礎(chǔ)測試探針臺，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。