目錄:山東優(yōu)云譜光電科技有限公司>>環(huán)境保護儀器>>配氣儀>> YP-PQY氣體動態(tài)稀釋儀
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥,綜合 |
一、氣體動態(tài)稀釋儀特點
高精度、高分辨率控制
低功率(功率大小取決于配氣路數(shù))
各路 MFC 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎(chǔ)氣體種類按比例混合)
數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
寬流量量程范圍
無需預(yù)熱
無安裝方向限制
具有高重復(fù)性和高可靠性
采用電磁比例閥,使用壽命長,響應(yīng)速度快
自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃
內(nèi)部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性
小封裝尺寸
二、量程及精度簡介
稀釋比:最高 1000:1(更高稀釋比建議咨詢廠家)
各路 MFC 滿量程精度:±0.2%
各路 MFC 讀取精度:±0.8%
各路 MFC 可重復(fù)性:±0.2%FS
各路 MFC 響應(yīng)時間:<100ms(調(diào)節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時間),數(shù)字式設(shè)計簡介
動態(tài)稀釋儀內(nèi)部配置了高精度質(zhì) 量流量控制器(MFC),各路 MFC 標配高精度傳
感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質(zhì)量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。
三、氣體動態(tài)稀釋儀應(yīng)用領(lǐng)域
氣相和液相色譜儀
半導(dǎo)體工藝
環(huán)境監(jiān)測設(shè)備
微反應(yīng)裝置及材料制備實驗裝置(CVD)
氣體發(fā)生器
配氣混氣系
四、功能介紹
流量控制 ---可實現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。
獨立使用 ---無需連接任何設(shè)備,可通過屏幕完成大部分功能操作。
多種量程選擇 ---根據(jù)稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm,最大量程 50slpm 可選。
內(nèi)置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內(nèi)置 20 種基本氣體,氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據(jù)使用需求,自定義混合氣。
電氣接口 ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信與內(nèi)部 MFC 進行通信。
標準 Modbus-RTU ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。