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            深圳九州工業(yè)品有限公司
            中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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            日本takano 晶圓表面檢測(cè)設(shè)備WM系列的產(chǎn)品介紹

            時(shí)間:2024/8/8閱讀:662
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            WM系列規(guī)格

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            無(wú)圖案300mm晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)

            WM-10R是300mm晶圓的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

            是48nm的高靈敏度檢測(cè)系統(tǒng)。

            WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.






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            2.png200mm以下無(wú)圖案晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)


            WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號(hào)。

            WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.






            1. 獨(dú)的創(chuàng)高靈敏度光學(xué)系統(tǒng)

            • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。

            • WM 系列有 2 個(gè)寬數(shù)值孔徑鏡頭,用于高靈敏度檢測(cè)。

            2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描

            • WM系列是帶轉(zhuǎn)速控制的螺旋掃描方式。

            • XY-數(shù)據(jù)發(fā)送到 EB 審查設(shè)備,然后可以通過(guò)輕松對(duì)齊進(jìn)行審查。


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