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            深圳九州工業(yè)品有限公司
            中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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            日本takano 晶圓視覺檢測(cè)設(shè)備Vi系列的產(chǎn)品介紹

            時(shí)間:2024/8/8閱讀:425
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            日本takano 晶圓視覺檢測(cè)設(shè)備Vi系列

            我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產(chǎn)品外觀。

            ●產(chǎn)品信息

            Vi系列規(guī)格

                    Vi-4207R、C               Vi-4307M,C               Vi-5301M  

            晶圓尺寸         ~200毫米          ~300毫米                   ~300毫米

            處理                 機(jī)器人                          機(jī)器人                         機(jī)器人

            裝載機(jī)     打開盒式磁帶                開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB

            缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0(物鏡10x/5x/2.5x)     

            尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  寬2600x深1440x高1790

            重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤

            應(yīng)用    CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓

            1. 缺陷示例


            image.png


            2、按區(qū)域(層)分類精細(xì)檢測(cè)

            ●區(qū)域分類根據(jù)器件圖案的特征實(shí)現(xiàn)多種檢測(cè)靈敏度和容差。

            ●每個(gè)區(qū)域都可以有檢查參數(shù)。


            3.通過各種照明和彩色圖像來精細(xì)化圖像

            ●灰度檢測(cè)無法檢測(cè)到的缺陷可以通過彩色檢測(cè)來檢測(cè)。

            ●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。




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