PTHC系列低溫液冷機應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。
設(shè)備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度：-60℃
溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機
參數(shù)看清楚
型號
設(shè)備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度穩(wěn)定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護
液冷制冷機
PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便 、顯示直觀， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質(zhì)：SUS304，采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設(shè)備導熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
設(shè)備導熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測溫傳感器端口 、USB數(shù)據(jù)接口
試驗執(zhí)行時， 可實時顯示圖形曲線， 顯示內(nèi)容；溫度設(shè)定實際值，執(zhí) 行程序周期，程序執(zhí)行中具有跳文件，保持功能。
風冷
設(shè)備運行狀態(tài)實時顯示，故障信息自動診斷， 多項報警保護： 電源故 障 ，壓縮機過載 、循環(huán)泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設(shè)計等保護功能。
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