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            北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司
            中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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            北崎倉(cāng)庫(kù)現(xiàn)貨
            TSUBOSAKA壺坂
            YAMADA山田光學(xué)
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            TOPCON拓普康
            TOADKK東亞電波
            TORAY東麗
            SANKO 三高
            TOKISANYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)
            DAIKIN日本大金
            MIYUKI美幸輝
            KAIJO楷捷
            KIKUSUI菊水
            MUSASHI武藏
            SUGIYAMA杉山電機(jī)
            THINKY新基
            KYOWA共和
            NIPPON GEAR齒輪工業(yè)
            AND艾安得
            AITEC艾泰克
            Asahi-spectra朝日分光株式會(huì)社
            ORC歐阿希
            NEWKON新光
            SERIC索萊克
            FUNATECH船越龍
            NIDEC尼得科
            NARISHIGE成茂

            RIGAKUT日本理學(xué)XHEMIS TX-3000V 內(nèi)置 VPD 的 TXRF 光譜儀

            時(shí)間:2025/4/23閱讀:91
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            XHEMIS TX-3000V

            內(nèi)置 VPD 的 TXRF 光譜儀

            超快速金屬污染分布驗(yàn)證

            VPD 的最高靈敏度

            兼容最大 300 毫米的晶圓


            XHEMIS TX-3000


            XHEMIS TX-3000V 規(guī)格

            技術(shù)全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜法 (TXRF) 與氣相分解 (VPD)
            微量元素表面污染測(cè)量 niyoru 1E7
            原子/cm2 檢測(cè)限 標(biāo)測(cè)速度提高約
            3 倍
            科技集成自動(dòng) VPD 制備、三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)元件更換
            主要組件三探測(cè)器配置:
            高功率 W 與陰極 X 射線源(9 kW 旋轉(zhuǎn)與陰極) 3
            種激發(fā)能量,針對(duì)輕元素、過渡元素和重元素
            進(jìn)行了優(yōu)化 XYθ 樣品臺(tái)
            雙 FOUP 負(fù)載端口
            特征全晶圓映射 (SWEEPING-TXRF) 零
            邊緣排除 (ZEE-TXRF) 集成
            自動(dòng) VPD 預(yù)處理 (VPD-TXRF)
            用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口,可實(shí)現(xiàn)最高靈敏度
            選擇背面分析 (BAC-TXRF)
            GEM300 軟件,E84/OHT 支持
            氣相處理 (VPT-TXRF),以提高靈敏度,同時(shí)保留空間信息 VPD
            用于親水性晶圓表面(例如 SiC)
            本體尺寸1280 (W) x 3750 (D) x 2040 (H)
            (不包括顯示器和信號(hào)塔)
            測(cè)量結(jié)果定量結(jié)果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表



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