目錄:適安佳（北京）生物科技有限公司>>磁控濺射儀>> SSG-50M磁控濺射儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
為了使電子顯微鏡中的樣品能夠成像，它們需要有導電性，通過在樣品上形成導電層的鍍膜，用來抑制電荷，減少熱損傷，并提高在SEM中定位檢查所需的二次電子信號。
磁控濺射儀的測試原理：在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內沉積，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。
平時使用時，最常見靶材的是金靶。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱“噴金儀"。然而，為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層，有時候也會使用其他靶材（比如鉻、鉑金、銅）。
產(chǎn)品概覽
磁控濺射儀的產(chǎn)品特點
樣品腔尺寸：圓柱形，直徑150mmx高度120mm；
樣品腔真空度：極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa，恒壓控制；
樣品臺：可以裝載樣品8-15個，高度可調范圍為40mm；
靶材：Au靶為標配，Pt，Cu（選件）規(guī)格：直徑57mmx0.1mm厚；
濺射電流：微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流200mA，程序化數(shù)字控制；
濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩；
真空計：皮拉尼真空計，測量范圍：0.01Pa-常壓；
真空泵：雙級直連式高速真空泵，抽速：66L/min，真空度：10-2Pa；
厚度監(jiān)控：使用高分辨厚度監(jiān)控儀，精確測定所鍍膜的厚度；（選配）
操作方式：觸摸屏控制，手動和自動模式可選，操作簡便；
機箱設計：長寬高40*35*50cm，堅固防腐蝕的箱體，帶有電源、電壓、電流、真空度等顯示。
2
化工儀器網(wǎng)