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| 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思傳輸門閥（V77系列）
低顆?；罨群皖w粒排放以及快速、可靠的打開和關閉循環(huán)方面的顆粒性能是半導體生產系統(tǒng)中大氣傳輸門的關鍵性能指標。
新的V77 HV傳送門插件與L-Motion結合了優(yōu)秀的顆粒性能和優(yōu)化的可控性，可實現可調、快速的循環(huán)時間。
通過優(yōu)化各種設計特征，如板上用于均勻密封壓縮的扭桿、完好封裝的致動器、無潤滑環(huán)境和具有可調速度曲線的真實L-Motion，以避免任何閉合沖擊，實現了優(yōu)秀的顆粒性能。
V77具有可調速度曲線的優(yōu)秀真實L-Motion是通過PRECESS的特殊L-Motion技術實現的，該技術有兩個獨立的執(zhí)行器，用于垂直和水平移動。結果：一種高度可靠的執(zhí)行器概念，具有快速、穩(wěn)定、可調節(jié)和無沖擊的運動。好處：更長的正常運行時間和更好的可控性。
PRECESS普瑞賽思傳輸門閥（V77系列）
特征：
l半標準應用（Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296）
l閥蓋法蘭真空側的防塵密封，幾乎消除了顆粒物進入波紋管
l無顆粒和振動
優(yōu)點：
l實現精確的L動作
l易于維護
應用：
l半導體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群和內聯(lián)真空系統(tǒng)
技術參數
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