目錄:深圳市錫成科學儀器有限公司>>輪廓/膜厚測量>>光學輪廓儀>> Zeta-20三維光學輪廓儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| ZSI模式分辨率： | 0.5? | 最小臺階： | 0.1nm |
多模組三維光學輪廓儀Zeta-20標配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學系統(tǒng)。強大的成像測量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。
納米及微米級臺階測量
粗糙度分析
薄膜厚度測量
三維輪廓測量
全表面缺陷測量及分類
特征圖形全自動偵測與表征
高深寬比表面輪廓成像
True color（真彩）無限遠焦點圖像
多模組三維光學輪廓儀模式選擇
適用范圍 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
粗糙度＞40nm | √ | ||||
粗糙度＜40nm | √ | ||||
大視場、Z軸高分辨 | √ | ||||
15nm～25mm臺階 | √ | ||||
5nm～100μm臺階 | √ | ||||
＜10nm臺階 | √ | ||||
30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
膜厚＞75μm | √ |
基礎(chǔ)模塊
橫向準確度＜1% | 彩色CCD：2/3"，2448×2048 |
水平分辨率：54nm | 可測高度：40mm |
Z軸分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
自動XY載臺150×150mm | 樣品反射率：0.5%~100 |
測試系統(tǒng)選項
標準物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
特殊物鏡：長工作距離，浸沒物鏡，TTM物鏡
ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5?分辨率，0.1nm臺階高度測試）
載臺與卡盤選項
手動100mm×100mm或300mm×300mm載臺
自動150mm×150mm或180mmx200mm載臺
壓電陶瓷載臺（2nm閉環(huán)精度，200µm工作距離）
高精度傾斜載臺
手動旋轉(zhuǎn)載臺
卡盤：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等，可定制
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