目錄:北京中科科儀光電科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>場發(fā)射掃描電鏡>> KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子/電池 |
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一、產(chǎn)品特點(diǎn)
亞納米級(jí)分辨率
低像差錐形物鏡
大束流
自動(dòng)化控制系統(tǒng)
超大樣品倉
鏡筒加速技術(shù) 顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像
二、技術(shù)參數(shù)
三、產(chǎn)品功能
06 關(guān)鍵尺寸測量
具備距離，角度，水平線/垂直線等豐富的圖像測量功能
四、定制能力
1、電子束曝光（EBL）
2、真空互聯(lián)
·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進(jìn)行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測。
·自動(dòng)檢測和反饋系統(tǒng)，對樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。
3、激光聯(lián)用-超快電鏡
·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電
鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。
五、應(yīng)用案例
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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