目錄:蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計(jì)>>氣體質(zhì)量流量控制器>> mfc330MFC氣體質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 4600 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
| ￥4600 |
| ≥1件 |
更新時(shí)間：2024-12-31 16:35:14瀏覽次數(shù)：436評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,能源,電氣 |
主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介質(zhì)要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測(cè)量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
準(zhǔn)確度 Accuracy | 標(biāo)準(zhǔn) Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重復(fù)精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應(yīng)時(shí)間 Settling time (in control) | <3秒 |
預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機(jī)械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無(wú)凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質(zhì)Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質(zhì)Seals | 氟橡膠 FKM |
防護(hù)等級(jí) Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號(hào) Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數(shù)字信號(hào) Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用戶可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號(hào)精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標(biāo)況 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選，具體參考說(shuō)明書氣體系數(shù) |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 |
| 2.88lb | |
MFC氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于氣相色譜設(shè)備、環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備、氣體采樣設(shè)備、CVD電爐設(shè)備、氣體稀釋校準(zhǔn)設(shè)備、蒸餾儀等設(shè)備中。
蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司是一家擁有自主研發(fā)能力的生產(chǎn)銷售于一體的專注微小MFC氣體質(zhì)量流量控制器廠家，現(xiàn)在公司主推MFC330和MFC300兩個(gè)系列熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM，流量控制器MFC。
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M4 5mm
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