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MFC300-03D 氣體質量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
MFC300-03D 氣體質量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
| 滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
| 2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
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