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            目錄:蘇州愛拓利電子設備有限公司>>流量計>>氣體質量流量控制器>> MFC300-03D氣體質量流量控制器

            氣體質量流量控制器
            • 氣體質量流量控制器
            • 氣體質量流量控制器
            • 氣體質量流量控制器
            參考價 4600
            訂貨量 ≥10
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            4600
            ≥10
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 品牌 愛拓利
            • 型號 MFC300-03D
            • 廠商性質 生產商
            • 所在地 蘇州市
            屬性

            $NV_PropertyInfoName.SubString(0,25)

            >

            更新時間:2025-01-09 14:52:57瀏覽次數(shù):305評價

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            價格區(qū)間 面議 介質分類 氣體
            應用領域 綜合
            MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。


            MFC300-03D 氣體質量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

            氣體質量流量控制器
            MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理


            產品特點

            超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

            高重復性,寬量程比

            更小體積,安裝方便

            無需預熱,使用便捷

            分階流量控制軟件,靈活配置


            主要參數(shù)
            • 介質要求
              潔凈干燥無腐蝕性氣體
            • 氣體種類
              Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
            • 量程
              0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
            • 測量和控制范圍
              0.2%-100%F.S. (1:500)
            • 準確度
              ±0.5%F.S.
            • 重復精度
              ±0.5%F.S.
            • 線性度
              ±0.2%F.S.
            • 分辨率
              0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
            • 傳感器響應時間
              5ms
            • 控制響應時間
              300ms
            • 預熱時間
              ≤1s
            • 閥門
              常閉式
            • 泄漏率
              1*10-11Pa.m3/sec He



            機械特性
            • 最大工作壓力
              1.1 MPa(11bar)
            • 工作壓差范圍
              0-1 MPa
            • 工作溫度范圍
              0-65℃(環(huán)境和氣體)
            • 溫度范圍
              0 - 98%無凝露
            • 氣路接頭類型
              快插、快擰、卡套、VCR(可選)
            • 氣體接觸材質
              氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
            • 密封材質
              氟橡膠 FKM
            • 防護等級
              IP40
            • 安裝方式
              任意方向安裝
            • 固定孔
              M4 ↓ 5mm
            • 重量
              0.38kg



            電氣和通訊
            • 電氣連接接口類型
              DB-9 male
            • 輸入輸出阻抗
              輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
            • 數(shù)字信號
              Modbus RTU(RS232,RS485),CAN
            • 量程
              0-2,10,20,30,100,300,500sccm
              0-1,2,5,10,20,30slpm
            • 通信速率
              9600(默認),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
            • 電源
              15-40 VDC,100 mA



            特征
            • 標況
              20℃,1 atm
            • 氣體選擇
              可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
            • 軟件
              Aitoly分階流量軟件



            尺寸
            滿量程深度ABCDE重量
            5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
            2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



            氣體質量流量控制器
            產品選型
            氣體質量流量控制器




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