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            MFC300-質(zhì)量流量控制器
            • MFC300-質(zhì)量流量控制器

            貨物所在地:江蘇蘇州市

            地: 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)

            更新時(shí)間:2025-02-26 10:54:03

            瀏覽次數(shù):16

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            由流量傳感器、分流器、通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成,結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過質(zhì)量流量控制器(簡稱MFC)時(shí),大部分氣體通過層流元件,成比例的部分氣體通過流量傳感器。 采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為申信號(hào),以此為基準(zhǔn)測量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小.

            MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器

            產(chǎn)品特點(diǎn)

            超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

            高重復(fù)性,寬量程比

            更小體積,安裝方便

            無需預(yù)熱,使用便捷

            分階流量控制軟件,靈活配置

            主要參數(shù)

            介質(zhì)要求

            潔凈干燥無腐蝕性氣體

            氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

            測量和控制范圍  0.2%-100%F.S. (1:500)

            準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.

            重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

            線性度 ±0.2%F.S.

            分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

            傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

            控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

            預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

            閥門 常閉式



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