您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
19270095986
當前位置：玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>灰化裝置>> Luminous NA-8000日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號Luminous NA-8000
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-11-25 14:16:10瀏覽次數(shù)：189次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
Luminous NA 系列是一款不受晶圓尺寸限制的灰化系統(tǒng)，可以處理從關鍵的下一代晶圓工藝到晶圓級安裝工藝的各種工藝。
可以執(zhí)行關鍵的下一代晶圓工藝所需的1×10 16原子/cm 2或更高的無損傷離子注入剝離工藝和聚合物去除工藝。
腔室配置適合氟基氣體添加工藝，使其無顆粒。因此，可以構建從普通PR到離子注入剝離、有機膜剝離（PI、DFR等）剝離、氧化膜蝕刻等廣泛的工藝。
采用簡單的設備配置，同時實現(xiàn)了“出色的可維護性和可靠性"和“低成本"。
可以實現(xiàn)靈活的腔室配置（μwave、RIE、μwave + RIE），并且可以選擇多種傳輸路線。
晶圓尺寸只需通過配方設置即可更改，因此更改晶圓尺寸非常容易。
離子注入剝離工藝（1 x 10 16原子/cm 2或更多）和前端工藝中的聚合物去除
需要CF4添加工藝的晶圓工藝（電子元件/LED）
芯片尺寸封裝和BUMP工藝
CCD彩色濾光片制造工藝
| 模型 | 兼容晶圓尺寸 |
| Luminous NA-8000 | 100毫米、125毫米、150毫米和200毫米 |
| Luminous NA-1300 | 200毫米和300毫米 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
化工儀器網(wǎng)