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精確捕捉超高精度微觀3D形貌的能力
AM-7000系列 白光干涉測(cè)厚儀可用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)別測(cè)量，以“面"的形式獲取表面3D形貌
通過(guò)專(zhuān)用軟件對(duì)3D形貌進(jìn)行處理和分析，最高RMS重復(fù)性可達(dá)0.002nm
超高速極大提高測(cè)量效率，可用于自動(dòng)化產(chǎn)線
AM-7000搭配大量程高速納米壓電陶瓷器件，最高掃描速度400μm/秒，3200Hz加以業(yè)內(nèi)SST+GAT算法，可瞬間完成最高500萬(wàn)點(diǎn)云采集
大視野高精度大視野、大范圍測(cè)量
白光干涉原理通過(guò)光干涉相位計(jì)量
任意放大倍率下均可獲得<1nm的檢測(cè)精度
豐富的測(cè)量工具從容應(yīng)對(duì)各種行業(yè)應(yīng)用
涵蓋市場(chǎng)上通用的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量工具，高效率輕松分析3D數(shù)據(jù)
精確捕捉超高精度
微觀3D形貌的能力
AM-7000系列 白光干涉測(cè)厚儀可用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)別測(cè)量，以“面"的形式獲取表面3D形貌
通過(guò)專(zhuān)用軟件對(duì)3D形貌進(jìn)行處理和分析，最高RMS重復(fù)性可達(dá)0.002nm
相移干涉法使用特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光源來(lái)確認(rèn)目標(biāo)面反射光和參考面反射光之間的光干涉。目標(biāo)面的反射光和參考面的反射光之間的相位為0,距離參考面的高度為h,則
O=4h/λ。借助相位測(cè)量法，使用壓電陶瓷移動(dòng)測(cè)量面的光路，計(jì)算以1/4波長(zhǎng)移動(dòng)光路時(shí)獲得的多個(gè)干涉條紋的相位差(O),然后將其轉(zhuǎn)換為高度h。
