日本SIGMAKOKI西格瑪超級反射鏡TFHSM

用（光）高精度檢測距離或時(shí)間等時(shí)，常用法布里（Fabry-Perot interferometer）。
這個(gè)系列的超級反射鏡為提高法布里的性能而開發(fā)，超級反射鏡的反射率非常接近100%了。

采用了離子束濺射（IBS）鍍膜方式，獲得了細(xì)密而無缺陷的高質(zhì)量光學(xué)膜。
反射鏡基板采用特殊的高精密拋光技術(shù)制造，其表面粗糙度小于Ra0.1nm的低散亂基板。
發(fā)揮多年積累的光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)了高達(dá)99.999%的高反射率。
基板和光學(xué)膜的散亂損失非常小，用其構(gòu)建法布里－珀羅腔的話，可得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。
有使用波長為532nm和1064nm的兩個(gè)系列。

TFHSM共同指標(biāo)

材料	合成石英
鍍膜	正面 電介質(zhì)高反射多層膜 反面 電介質(zhì)防反射多層膜
入射角	0°
基板面型精度	λ/10
平行度	＜5″
表面質(zhì)量	10-5
有效直徑	外徑的80%
反面反射率	＜0.15％
形狀	平面基板

功能說明圖	外形圖