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差壓法（變壓法、加壓法）
這是一種通過對要檢查的物體（工件）施加氣壓，然后測量內(nèi)部壓力變化來確定泄漏的方法。 準備無泄漏的參考產(chǎn)品（母版），同時對工件和母版加壓。 高靈敏度差壓傳感器將泄漏引起的工件壓力變化檢測為母模中的壓力與母模中的壓力之差。
如果有少量泄漏
如果有大泄漏
氣密性測試儀（智能 2 回路）的作
| CHG | BAL1 | BAL2 | DET | |
|---|---|---|---|---|
| AV1（SV2） | ||||
| AV2（SV3） | ||||
| AV3（SV4） |
AV1：加壓閥
AV2：等壓閥
AV3：排氣閥
DPS： 差壓傳感器
PS：測試壓力傳感器
CHG 工藝（加壓）
關閉排氣閥 （AV3），打開增壓閥 （AV1），并將測試壓力封閉到回路中。
BAL1 工藝（同量異位）
關閉增壓閥 （AV1） 并通過主站和工件之間的連續(xù)性來穩(wěn)定它。
BAL2 過程 （平衡）
關閉等壓閥 （AV2） 并在關閉主件和工件之間的距離的情況下將其穩(wěn)定。 在此過程中檢測到大量泄漏。
DET 進程（檢測）
采用電氣自動歸零來檢測小泄漏。 這就是漂移校正功能發(fā)揮作用的地方。
由于泄漏導致工件內(nèi)部壓力的變化
在平衡和檢測過程中，在自動歸零作后每 0.1 秒計算一次泄漏引起的壓差 ΔP，并以泄漏量（泄漏率 mL/min 等）為單位顯示。
如果泄漏量的顯示在檢測過程中沒有變化并且變得恒定，則不需要進一步的檢測時間。
