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參考價(jià): | ¥ 10000 |
訂貨量: | 1件 |
- EV-S20(P/N) 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):28更新時(shí)間:2025-03-21 15:11:11
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
S型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝(如:load lock、SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附加功能的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 “。
EBARA荏原 EV-S干式真空泵
S型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝(如:load lock、SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附加功能的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 “。
EBARA荏原 EV-S干式真空泵
通過大范圍的溫度控制,擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝,能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存,減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間,并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來的工藝擴(kuò)展。
●在“低能耗、占地小、輕量化"方面達(dá)到業(yè)內(nèi)前列的水平;
●耐腐蝕材料、氮?dú)獯祾吖δ埽蛇x);
●在不同頻率(50/60Hz)下性能一致;
●通過增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時(shí)間。
核心技術(shù)特性
無油設(shè)計(jì):采用多級(jí)壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),通過精密機(jī)械密封實(shí)現(xiàn)無油運(yùn)行,避免油蒸氣污染,適合潔凈環(huán)境(如半導(dǎo)體、生物實(shí)驗(yàn)室)。
耐腐蝕材料:核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金,可耐受腐蝕性氣體(如酸性、堿性介質(zhì))。
高效節(jié)能:優(yōu)化轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì),能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%,支持變頻調(diào)速(20%~100%流量調(diào)節(jié))。
低維護(hù)成本:無需定期更換油液,維護(hù)周期長達(dá)8,000~12,000小時(shí),顯著減少停機(jī)時(shí)間。
用戶體驗(yàn)與核心優(yōu)勢(shì)
潔凈無污染:消除油蒸氣反流問題,保護(hù)工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
低噪音運(yùn)行:噪聲水平<65 dB(A),適合實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間環(huán)境。
智能監(jiān)控:集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊,實(shí)時(shí)監(jiān)測真空度、溫度、振動(dòng),支持遠(yuǎn)程報(bào)警與故障診斷。
模塊化設(shè)計(jì):支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng),覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。