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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
EV-M型可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,實現(xiàn)了停機風險的減少和運行成本的降低。
EBARA荏原 EV-M干式真空泵
EV-M型可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,實現(xiàn)了停機風險的減少和運行成本的降低。
EBARA荏原 EV-M干式真空泵
通過大范圍的溫度控制,擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝,能夠優(yōu)化備用設備的庫存,減少用于維護和培訓的人力時間,并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。
產品系列豐富,可應對多種工藝、抽氣速率需求;
●兼顧高負荷與低功耗;
●可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料)。
核心技術特性
無油設計:采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉子結構,通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行,避免油蒸氣污染,適合潔凈環(huán)境(如半導體、生物實驗室)。
耐腐蝕材料:核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金,可耐受腐蝕性氣體(如酸性、堿性介質)。
高效節(jié)能:優(yōu)化轉子動力學設計,能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%,支持變頻調速(20%~100%流量調節(jié))。
低維護成本:無需定期更換油液,維護周期長達8,000~12,000小時,顯著減少停機時間。
用戶體驗與核心優(yōu)勢
潔凈無污染:消除油蒸氣反流問題,保護工藝介質與產品質量。
低噪音運行:噪聲水平<65 dB(A),適合實驗室及潔凈車間環(huán)境。
智能監(jiān)控:集成壓力傳感器與物聯(lián)網模塊,實時監(jiān)測真空度、溫度、振動,支持遠程報警與故障診斷。
模塊化設計:支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復合真空系統(tǒng),覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。