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參考價(jià): | ¥ 3200 |
- TG50F 產(chǎn)品型號(hào)
- OSAKA大阪真空 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):37更新時(shí)間:2025-03-27 15:40:15
- 聯(lián)系人:
- 張斌
- 電話:
- 86-028-87319898
- 手機(jī):
- 15528325588
- 傳真:
- 86-028-85068959
- 地址:
- 四川成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號(hào)東方希望天祥廣場(chǎng)C座4527室
- 個(gè)性化:
- www.cosimoinc.cn
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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靈活的安裝姿勢(shì)、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動(dòng)、可快速停止排氣、能夠進(jìn)入大氣層、可以進(jìn)行串行通信
Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測(cè)設(shè)備
?管材、光學(xué)元件的制造
?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。
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靈活的安裝姿勢(shì)、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動(dòng)、可快速停止排氣、能夠進(jìn)入大氣層、可以進(jìn)行串行通信
[ 工作環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C。 允許環(huán)境溫度為風(fēng)冷 10~32°C,水冷 10~40°C。 極限壓力保證:冷卻水溫度不大于30°C,允許冷卻水溫度為10~35°C。
根據(jù)吸入氣體
的類型,它可能會(huì)使軸承潤滑脂和內(nèi)部零件變質(zhì)。 請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
進(jìn)氣法蘭 | VG65 ISO-R63 CF63 系列 | |
抽速 | N2 (升/秒) | 51 |
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒) | 49 | |
H2 (升/秒) | 12 | |
最大壓縮比 | N2 | 1,4×10%7 |
H2 | 5×102 | |
極限壓力 | VG/ISO-R/CF (帕) | <3×10-6 |
VG?ISO-R/CF (托) | <2.3×10-8 | |
最大氣體流速※1 | N2 (SCCM) | 80 |
啟動(dòng)時(shí)間 | (分鐘) | 1-1.5 |
停機(jī)時(shí)間 | (分鐘) | 1-1.5 |
允許的輔助壓力 | (Pa / Torr) | 1330 / 10 |
推薦的輔助泵 | (升/分鐘) | ≧50 |
安裝姿勢(shì) | 自由 | |
質(zhì)量 | VG/ISO-R/CF(千克) | 4.2 / 6 |
控制器類型 | TC64 系列 |