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MM-3202L-TNLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25180 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MM-3202L-TN 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：83更新時間：2025-03-28 14:53:51
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
技術驗證數(shù)據(jù)
案例1：半導體刻蝕工藝
控制氣體：Cl?/HBr混合氣
流量范圍：50-200sccm
穩(wěn)定性測試：8小時波動<±0.3%
匹配度：與終點檢測系統(tǒng)同步誤差
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