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參考價: | ¥ 7920 |
訂貨量: | 1件 |
- TG390MR 產(chǎn)品型號
- OSAKA大阪真空 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):39更新時間:2025-03-29 14:54:40
- 聯(lián)系人:
- 張斌
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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省電設(shè)計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設(shè)計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準:NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
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?管材、光學(xué)元件的制造
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結(jié)構(gòu)與工作原理
(1)核心組件
轉(zhuǎn)子葉片:多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM)。
定子葉片:與轉(zhuǎn)子交錯排列,形成氣體通道。
電機:高頻交流電機或磁懸浮軸承電機(避免機械磨損)。
排氣口:連接前級泵(如旋片泵),排出壓縮后的氣體。
(2)工作原理
動量傳遞:高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,使其向下級運動(分子流態(tài)下有效)。
壓縮比:每級葉片對氣體進行壓縮,最終由前級泵排至大氣。
工作壓力范圍:依賴分子流狀態(tài)(需氣體分子平均自由程>葉片間距)。
?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(tài)(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(會過熱損壞)。