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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
■ 在節(jié)能、體積小、輕量化方面是同類產品中好的干式真空泵之一。
極限壓力下的功耗：400W 占地面積
：0.11m2
重量：60 kg
■ 根據(jù)用途提供產品規(guī)格。
ER100D：非常適合輕負載排氣和清潔工藝
ER100DC：使用具有高耐腐蝕性的材料來承受腐蝕性氣體排放
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
對于易發(fā)生反應產物積累的器件，該系列采用我們特創(chuàng)的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
?清潔排氣
、濺射設備、粗拉
、TMP等高真空泵的輔助泵
、負載鎖室、運輸室排氣
、小型實驗設備排氣、吸附
和測量系統(tǒng)
、分析和測量設備
排氣、小型爐排氣
?電子槍源、離子槍源排氣
| 型 | ER100D/ER100DC （耐腐蝕型） | |
| 抽速 （L/min） | 1670 | |
| 測試極限壓力 （Pa） | 5.0 | |
| 極限壓力下的功耗 （W） | 400 | |
| 權力 | 電壓 （V） | 200-220 |
| 頻率 （Hz） | 50/60 | |
| 相數(shù) | 三個階段 | |
| 電源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹掃氣體流速 （Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷卻方式 | 水冷式 | |
| 冷卻水量?。↙/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷卻水溫度 （°C） | 最多 30 個 | |
| 重量 （kg） | 60 | |
[支持的氣體種類]
根據(jù)吸入氣體的類型，可能會導致內部組件劣化。
