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MODEL 8900KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
| 參考價(jià): | ￥ 8200 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MODEL 8900 產(chǎn)品型號(hào)
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：27更新時(shí)間：2025-05-21 09:00:47
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- www.cosimoinc.cn
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長(zhǎng)壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
支持15～24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門 | 電磁比例閥（斷電時(shí) 關(guān)閉） | |
| 對(duì)象氣體 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范圍（N2換算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | |
| 響應(yīng)性 | 2sec以內(nèi)（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
| 動(dòng)作壓差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
| 允許環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許周圍濕度 | 10～90%RH（未出現(xiàn)冷凝） | |
| 與氣體接觸的材質(zhì) | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九針 KFC standard（依據(jù)SEMI standard） | |
| 模擬流量設(shè)定信號(hào) | 0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω） | |
| 模擬流量輸出信號(hào) | 0～5VDC（負(fù)載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負(fù)載電阻300Ω以下） | |
| 電源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or 24VDC（±10%）450mA | |
| 外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭) | |
| 接頭（本體口徑） | 標(biāo)準(zhǔn)：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 約1,000g | |
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